半導体フリップチップ・電子部品等の精密洗浄に対応します
真空超音波洗浄装置 YW-252VS
用途
１．半導体フリップチップのフラックス洗浄。半導体ウェーハの洗浄。
２．精密電子部品の洗浄。
動作
手動にて水槽に液を満水位置まで給水し、更にオーバーフロー口を経由してリザーブタンクを所定位置まで給水します。
手動スイッチにて加温開始、液循環を行い所定温度まで昇温。
超音波ＬＯＷ（４０ｋＨｚ）ＨＩＧＨ（１００ｋＨｚ）ＡＵＴＯ（２周波交互発振）３種類の洗浄モードから選択。
起動スイッチのＯＮでワーク洗浄を開始。設定時間の真空洗浄、常圧洗浄の順で洗浄を行い設定回数繰り返します。
主な仕様
| 型式 | YW-252VS |
|---|---|
| 外法寸法（mm） | 700W × 1000D × 1000H 突起部を含まず |
| 洗浄槽寸法（mm） | Φ250 × 270H（材質：SUS304） |
| 適用洗浄液 | 準水系洗浄液 / 純水 |
| 洗浄液循環 | リザーブタンク・循環ポンプを内蔵 リザーブ槽：10L |
| 真空ポンプ | ダイアフラム式（ミストトラップ付）内蔵 |
| 超音波 | 200W 40 / 100kHz 洗浄槽底へ直付け |
| 洗浄温度 | 常用40℃（最大70℃） |
| 電源 | 3Φ AC200V 12A |
※）本真空超音波洗浄装置 はセミカスタム製品です。ご希望の仕様に対応し製造します。
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