電子冷熱恒温槽

ペルチェ方式による高精度の温度コントロールを実現

主な特徴

• 電子冷熱方式で槽内の液を -10.00〜70.00℃ の範囲で温度制御します。
• 高分解能温度指示 0.01℃（1/100℃）
• 独自液循環方式により、高い温度安定性（±0.02℃）を実現しました。
• 自社開発の高精度温度制御器。
• 水槽部と制御部がセパレート。
  各種装置への組込みに適しています。
• 通信機能　RS-232C/RS-485　（オプション）
  温度設定、運転状態のモニターの他、運転/停止もリモート操作可能です。
  本機を複数台組み込んだCVD装置などで集中操作ができ便利です。

主な用途 

• 半導体製造で行われる蒸着プロセスの拡散ガス蒸気圧コントロール。
• 理化学分野での各種実験。
• 製薬分野での試験研究。
• 不活性液媒体（GALDEN®等）を使用した、部品の浸漬温度試験。

主な仕様

制御方式	水冷式電子冷熱方式（ペルチェ方式）
モデル	RT-250Z430-GE
設定温度範囲	-10.00〜70.00℃
温度指示/設定分解能	0.01℃
温度安定性※1	±0.02℃
上記条件	周囲温度　23℃ 周囲湿度　55％RH 冷却水温　25℃ 液媒体　　 GALDEN HT200 ※2 槽内熱負荷無し。
通信機能（オプション）	RS-232C/RS-485 運転モニター、温度設定の他 運転／停止もリモート操作可能です。
使用周囲温度	5〜35℃
冷却水温度	18〜30℃（標準：25℃）
冷却水流量	2.5～5.0L/min（設定温度により調整可能）
電源	単相　AC200V　4A 50/60Hz
使用可能液媒体	フッ素系媒体 不凍液等 蒸留水
各種保護機能	自己診断機能 異常・警報出力（リレー出力）
水槽内寸法（mm）	Ø250×430H（液面 400H） 有効容積：20.0L
水槽部外形寸法（mm）	321W×321D×580H（突起部含まず）
制御部外形寸法（mm）	260W×362D×147H（突起部含まず）

※1　温度分布を含む（実測値であり、保証値ではありません）。周囲温度、冷却水温度により変動することがあります。
※2　GALDENR®はソルベイソレクシス社の登録商標です。

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