温度範囲を拡大し250℃処理を可能
高性能化するパワー半導体の樹脂封止に対応
用途
1.フィルム内気泡消泡
2.含浸用途
3.半導体・ダイボンドテープの消泡・硬化
4.半導体、電子部品、熱加圧硬化性樹脂による封止
主な仕様
型式 | ACS-U450 |
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外法寸法(mm) | W995×H1520×D1200 |
有効内寸法(mm) | φ395×D460 |
容積 | 56L |
常用圧力範囲 | 0.1~0.8MPaG (Option1.0MPaG) |
常用使用温度 | RT+30~250℃ |
電源 | AC200V 3φ 20A |
供給圧縮空気 | 0.9MPaG (Option1.1MPaG) |
圧力容器規格 | 第二種圧力容器 |
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