半導体・産業用オートクレーブ BCS-650H/G
環境試験装置（真空～加圧・加温）
用途
■半導体・産業用オートクレーブとして
- 半導体後工程アンダーフィル・ＤＡＦの脱泡・加熱加圧処理を行うことができます。
圧力（真空～加圧）温度をプログラム可能（16ステップ× 64パターン） - 半導体製造の後工程、半導体材料等の研究開発にも本装置を活用ください。
■環境試験装置として
- 真空～加圧環境で材料・部品等の各種試験を行う、環境試験機として利用いただけます。
■加圧・加熱専用機の「TBR/ACS シリーズ」も用意しております。
特長
チャンバー内の圧力を、真空～加圧(最大1MPa）に連続的に変化させることが可能。
圧力と共に加温も可能であり、圧力・温度共にプログラム運転することができます。
チャンバーには観測窓（BCS-650G）が２カ所あり、加圧・減圧状態で内部を観察することが可能です。
※安全のためカメラでの観測となります。
当社独自のマグネットカップリング方式による撹拌ファンを装備し、安定した槽内温度分布を実現します。
試料信号端子を装備しています。
【電源用 (125V10A)：3pin 信号用(125V1A)：24pin】
圧力容器内にある試験品へ電源供給ができ、また試験品の電気信号を外部の計測器等へ接続することができます。
BCS-650H/Gは従来機では実現できない真空～加圧・常温～高温の環境を実現します。
BCS-650H/GはTBR・ACSシリーズの最高機種に位置付けられた機種です。
真空:100Pa(abs)から加圧:1.0MPaGの幅広い圧力制御範囲、加えてRT+25～200℃の温度制御範囲をコントロールします。
多彩な機能とオプションでお客様の試験・研究・実験をサポートします。
試験槽内の試験品の通電が行えます。又、試験品の電気信号を外部計測器等に取り出せます。
減圧と加圧の複合試験が可能です。
画像は出力ポートからパソコン等で確認できます。
その他の特長
真空～加圧、常温～高温の環境下での試験を複合的に行えます。
試験中の圧力・温度・時間をプログラム可能です。（１６ステップ × ６４パターン）
ＩｏＴ対応。スマートフォン等で運転状態の確認が行えます。
セキュリティ上、ＩｏＴ機能をＯＦＦして使用することも可能です。
独自のファン構造で安定した槽内温度分布を実現します。
ファン回転構造をマグネットカップリングにすることで圧力容器を密閉し、エア洩れ、発塵リスクの低減、シール部の発熱を防ぎます。
主な仕様
| 型式 | BCS-650H | BCS-650G |
|---|---|---|
| 外形寸法（mm） |
W1225 × H1570 × D1450 BCS-650H:真空ポンプは含まず |
|
| 有効槽内寸法（mm） | φ568 × D647 | |
| 容積 | 163L | |
| 圧力範囲（真空） |
100Pa(abs) ※BCS650-G真空時の温度に制限があります |
|
| 圧力範囲（加圧） |
1.0MPaG |
|
| 常用使用温度 |
RT+25～200℃ |
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| 電源 | AC200V φ3 40A | |
| 使用気体 | 清浄圧縮空気／Ｎ2 | |
| 圧力容器規格 | 第二種圧力容器 | |
| 真空ポンプ | 装置外へ設置 | 内蔵 |
| カメラ撮影用観測窓 | － | 照明用＋観測用（２個） ※２ |
| 試料信号端子 |
※１ |
電源用(125V 10A)：3pin |
| 試料温測定用熱電対 |
Ｔ型・熱電対：８点 ※１ |
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※１：オプション ※２：安全のため目視による直接観察はできません。カメラ撮影用です（カメラ設置用マウント付）
※製品の仕様は変更する場合がありますのでご了承ください。
ダウンロード
デモ試験室について
チヨダエレクトリック株式会社では「導入前に真空・加圧処理の試験を行い性能・効果を確認したい」というお客様の声にお応えするため「デモ試験室」を新たに設置しました。
利用可能なデモ試験機としてBCS-650Hを用意しました。
是非ともご利用下さい。